Название: Элионная технология в микро- и наноиндустрии
Автор: Аскер Кушхов
Издательство: МИСиС
Жанр: Техническая литература
Серия:
Название: Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
Название: Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
Название: Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Название: Ионно-плазменная обработка материалов