Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы. Аскер Кушхов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы

Автор: Аскер Кушхов

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2007

Аннотация:

В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.