Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Аскер Кушхов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Элионная технология в микро- и наноиндустрии

Автор: Аскер Кушхов

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2008

Аннотация:

В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.