Название: Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
Автор: Аскер Кушхов
Издательство: МИСиС
Жанр: Техническая литература
isbn:
isbn: 2012
Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела.