Ионно-плазменная обработка материалов. Аскер Кушхов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Ионно-плазменная обработка материалов

Автор: Аскер Кушхов

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2008

Аннотация:

В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.