Название: Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Автор: А. И. Мочалов
Издательство: «Лаборатория знаний»
Жанр: Техническая литература
Серия: Нанотехнологии
Название: Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Серия:
