Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие. А. И. Мочалов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Автор: А. И. Мочалов

Издательство: «Лаборатория знаний»

Жанр: Техническая литература

Серия: Нанотехнологии

isbn: 978-5-9963-2129-2

isbn: 2013

Аннотация:

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.