Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие. А. И. Мочалов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Автор: А. И. Мочалов

Издательство: «Лаборатория знаний»

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn: 978-5-9963-2569-6

isbn: 2012

Аннотация:

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.