Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии. Игорь Житяев

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии

Автор: Игорь Житяев

Издательство: Южный Федеральный Университет

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 9785927523955

isbn: 0

Аннотация:

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».