Название: Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения
Автор: Игорь Житяев
Издательство: Южный Федеральный Университет
Жанр: Учебная литература
Серия:
Название: Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
