Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2. Александр Величко

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2

Автор: Александр Величко

Издательство: НГТУ

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-7782-2534-3

isbn: 2014

Аннотация:

Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».