Название: Определение толщины эпитаксиальных слоев и ширины запрещенной зоны полупроводников методом ИК Фурье-спектрометрии
Автор: Александр Величко
Издательство: НГТУ
Жанр: Учебная литература
Серия:
Название: Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2