Интервью с рабочим завода по производству электронных микросхем. Сергей Белановский

Чтение книги онлайн.

СКАЧАТЬ крышкой, то герметичность обеспечивается специальной резиновой прокладкой. Так вот, когда эти реакторы устанавливали, видимо, не оказалось нужных прокладок. Тогда взяли прокладку большего размера, кусок отрезали, а стык склеили каким-то клеем. Но клеевое соединение оказалось непрочным, и стык разошелся – образовалась щель около 1,5 мм. И так было на всех реакторах этого типа. Мы

      ходили проверять на соседний участок, и там тоже была такая же история. Полтора миллиметра – это вроде бы немного, но надо учитывать, что используемые в нашей технологии газы по токсичности не уступают многим боевым отравляющим веществам. В общем, когда мы занялись этим вопросом, то есть стали требовать ликвидации утечек, я сразу почувствовал, что стал меньше кашлять (первый симптом хронического отравления – это кашель). Причем это улучшение было действительно объективным, так как уменьшение кашля заметила и моя жена.

      Когда люди сами нарушают технику безопасности, они все-таки чувствуют примерные пределы допустимого, поэтому я считаю этот фактор менее значительным. Увеличение дозы сразу сказывается на самочувствии, и этот предел рабочие стараются не переходить. А влияние утечек очень трудно проконтролировать, так как утечки происходят не только на нашем участке, но и во всем цехе, причем набор отравляющих веществ просто фантастический, там есть все: сурьма, мышьяк, всевозможные излучения (рентгеновские, высокочастотные и др.), растворители, кислоты (включая плавиковую), токсичные газы, включая соединения фосфора, и т. д. Некоторые газы используются в высокой концентрации: 20%, а то и 100%. Очень серьезное трения у нас были из-за того, что администрация хотела перейти на технологию с использованием 100% фосфина. Фосфин – это очень ядовитый газ. Мы настаивали на том, чтобы при переходе на 100% фосфин на участке было установлено импортное оборудование, которое гарантирует от утечек, так как в этом случае любая утечка может привести к смертельному отравлению. Сейчас администрация отказалась от использования 100% фосфина: видимо, руководители поняли, что риск слишком велик.

      Вопрос: Используют ли 100% фосфин в аналогичных производствах ни Западе?

      Да, используют, так как его применение удешевляет производство и позволяет добиться более высокого качества обработки.

      Вопрос: Хорошо ли работает вентиляция Вашего цеха?

      Я бы не сказал, что наша вентиляция хорошо работает. Какую-то часть токсичных веществ она, конечно, удаляет, но наряду с этим она перемешивает воздух по цеху. Дело в том, что для обеспечения подачи чистого воздуха на рабочие места у нас существуют нагнетательные модули. Система нагнетания работает двухступенчато, то есть сначала воздух подается в цеховое пространство, а затем из атмосферы цеха подается к конкретным участкам и рабочим местам. Совместная работа нагнетательных модулей и вентиляции создает, по-видимому, очень сложную аэродинамическую систему, которую невозможно рассчитать или смоделировать. Не знаю, СКАЧАТЬ