Техническая механика микросистем. Коллектив авторов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Техническая механика микросистем

Автор: Коллектив авторов

Издательство: «Лаборатория знаний»

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-9963-3001-0

isbn: 2015

Аннотация:

Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.