Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1. М. А. Королев

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

Автор: М. А. Королев

Издательство: «Лаборатория знаний»

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn: 978-5-9963-2904-5

isbn: 2012

Аннотация:

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.