Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Ю. А. Родионов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

Автор: Ю. А. Родионов

Издательство: Инфра-Инженерия

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-9729-0337-5

isbn: 2019

Аннотация:

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.