Микроэлектромеханика. Дмитрий Остертак

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Микроэлектромеханика

Автор: Дмитрий Остертак

Издательство: НГТУ

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-7782-2901-3

isbn: 2016

Аннотация:

Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области.