Физические основы вакуумной техники. Александр Василевский

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Физические основы вакуумной техники

Автор: Александр Василевский

Издательство: НГТУ

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-7782-2424-7

isbn: 2014

Аннотация:

Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.