Silicon Technologies. Ion Implantation and Thermal Treatment. Annie Baudrant

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Silicon Technologies. Ion Implantation and Thermal Treatment

Автор: Annie Baudrant

Издательство: John Wiley & Sons Limited

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn: 9781118601112

isbn: 0

Аннотация:

The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.