Молекулярно-пучковая и мос-гидридная технологии. Методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Сергей Курочка

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Молекулярно-пучковая и мос-гидридная технологии. Методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций

Автор: Сергей Курочка

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2015

Аннотация:

В результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Анализируются как базовые традиционные методы формирования с применением нанолитографии – молекулярно-лучевая эпитаксия и газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений, так и специфические – зондовая нанотехнология и самоорганизация упорядоченных наноструктур на полупроводниковых подложках. В качестве практического применения наноструктурированных гетерокомпозиций рассмотрены конструкция и принцип работы полевого транзистора с высокой подвижностью носителей и одноэлектронный транзистор.