Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций. Геннадий Кузнецов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций

Автор: Геннадий Кузнецов

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2008

Аннотация:

В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.