Название: Наноэлектроника
Автор: Марина Орлова
Издательство: МИСиС
Жанр: Учебная литература
isbn:
isbn: 2013
Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.