Название: Конструктивно-технологические основы микроэлектроники
Автор: М. Филяк
Издательство: БИБКОМ
Жанр: Учебная литература
isbn:
isbn: 2011
В учебном пособии представлены общие сведения о технологии интегральных микросхем, дана их классификация и кратко описаны основные технологические операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем. Рассмотрены также операции изготовления гибридных интегральных микросхем.