Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus. А. А. Глушко

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus

Автор: А. А. Глушко

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Жанр:

Серия:

isbn: 978-5-7038-4177-8

isbn: 2015

Аннотация:

Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».