Название: Оценка погрешности позиционирования прецизионного оборудования
Автор: Ю. С. Боброва
Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
isbn: 978-5-7038-4669-8
isbn: 0
Рассмотрен технологический процесс изготовления многослойных печатных плат, позволяющий сформулировать требования к качеству выполнения операций, связанных с точным позиционированием инструмента. Приведены сравнительный анализ прецизионных приводов, их состав и ожидаемая точность позиционирования. Для студентов, обучающихся по специальностям «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».