Вакуумные системы источников синхротронного излучения. А. Б. Беркин

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Вакуумные системы источников синхротронного излучения

Автор: А. Б. Беркин

Издательство: Новосибирский государственный технический университет

Жанр:

Серия: Факультет радиотехники и электроники

isbn: 978-5-7782-4831-1

isbn: 2022

Аннотация:

Рассмотрены основные требования к вакуумным системам современных источников синхротронного излучения (СИ), особенности их проектирования и расчета. Основной акцент сделан на определяющую роль поверхности в сверхвысоковакуумных установках. Рассмотрены современные подходы к использованию компактных комбинированных насосов, распределенных насосов на основе геттерных материалов и покрытий в реализации эффективной откачки остаточных газов в протяженных вакуумных системах. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.