Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра. Наталья Макушина

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Автор: Наталья Макушина

Издательство:

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 5-7038-2926-7

isbn: 2006

Аннотация:

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.