Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники. Светлана Козубняк

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Автор: Светлана Козубняк

Издательство:

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-7038-3729-0

isbn: 2013

Аннотация:

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».