Название: Нанотехнологии и микромеханика. Часть 4. Зондовые нанотехнологии
Автор: Валерий Башков
Жанр: Учебная литература
isbn: 5-7038-2938-0
isbn: 2007
Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий. Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».