Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. Дмитрий Духопельников

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Автор: Дмитрий Духопельников

Издательство:

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-7038-3798-6

isbn: 2014

Аннотация:

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.