Физические основы микро- и нанотехнологий. Сергей Бычков

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Физические основы микро- и нанотехнологий

Автор: Сергей Бычков

Издательство:

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-7038-3319-3

isbn: 2009

Аннотация:

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».