Расчет вакуумных систем технологического оборудования. Валерий Михайлов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Расчет вакуумных систем технологического оборудования

Автор: Валерий Михайлов

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Жанр:

Серия:

isbn: 978-5-7038-5813-4

isbn: 2022

Аннотация:

Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».