Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Ю. А. Родионов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем

Автор: Ю. А. Родионов

Издательство: Издательство ЛАНЬ

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-8114-9566-5

isbn: 0

Аннотация:

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».