Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие. Г. И. Зебрев

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие

Автор: Г. И. Зебрев

Издательство: «Лаборатория знаний»

Жанр: Техническая литература

Серия: Нанотехнологии

isbn: 978-5-9963-2630-3

isbn: 2012

Аннотация:

Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро– и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».