Название: Микро- и нанотехнологии
Автор: Евгений Вячеславович Ильичев
Издательство: Новосибирский государственный технический университет
Жанр: Учебная литература
isbn: 978-5-7782-3752-0
isbn: 2018
Пособие включает в себя краткие основные сведения о физических эффектах в сверхпроводниках, справочный материал, задачи и примеры их решения. Основная цель настоящего пособия – дать краткую и необходимую информацию для закрепления материала в рамках курса Микро- и нанотехнологии. Предназначено для магистрантов факультета радиотехники и электроники, направление 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств».