Лазеры в микро- и наноэлектронике. А. В. Палий

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Лазеры в микро- и наноэлектронике

Автор: А. В. Палий

Издательство: Южный Федеральный Университет

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-5-9275-3083-0

isbn: 2018

Аннотация:

Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.