Технологии субмикронных структур микроэлектроники. Коллектив авторов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Технологии субмикронных структур микроэлектроники

Автор: Коллектив авторов

Издательство: Издательский дом “Белорусская наука”

Жанр: Учебная литература

Серия:

isbn: 978-985-08-2298-7

isbn: 2018

Аннотация:

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.