Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Геннадий Кузнецов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом

Автор: Геннадий Кузнецов

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2005

Аннотация:

В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.