Автор: Дмитрий Крутогин
Издательство: МИСиС
Жанр: Техническая литература
isbn:
isbn: 2013
В лабораторном практикуме излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля их электрофизических и структурных параметров. Материал практикума соответствует учебному плану курса «Основы технологии электронной компонентной базы».