Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа. Владимир Астахов
Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.
Автор: Владимир Астахов
Издательство: МИСиС
Жанр: Техническая литература
isbn:
isbn: 2007
Аннотация:
В методических указаниях рассматриваются принципы расчета режимов ионной имплантации при формировании структур n+–p–p+(p+–n–n+)-типа и профилей распределения имплантированной примеси. Излагается методика расчета в программе Math Cad 2001.
Читать онлайн