Название: Математическое моделирование технологических процессов. Моделирование в среде MathCAD
Автор: Виктор Никоненко
Издательство: МИСиС
Жанр: Техническая литература
isbn:
isbn: 2001
В практических работах рассматриваются процессы формирования функциональных слоев полупроводниковых приборов. Приводятся необходимые сведения по физическим основам процессов и методам математического моделирования этих процессов. Целью практикума является освоение студентами методов математического моделирования технологических процессов с использованием современных персональных компьютеров и математической системы MathCAD.