Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур. Кирилл Щербачев

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур

Автор: Кирилл Щербачев

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2001

Аннотация:

Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 «Материаловедение и новые технологии». В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной.