Гетероструктурная наноэлектроника. Алексей Ковалев

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Гетероструктурная наноэлектроника

Автор: Алексей Ковалев

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2009

Аннотация:

Пособие посвящено анализу нового направления электроники – гетероструктурной наноэлектронике. Это часть более масштабного направления, называемого нанотехнологией и охватывающего разработку полупроводниковых приборов и устройств субмикронных размеров. Даны примеры реализации полевых и биполярных транзисторов на основе гетеросистем из материалов Ge/Si и AIIIBV с субмикронными размерами активных областей. Рассмотрены механизмы формирования и условия получения гетероэпитаксиальных структур с квантовыми точками в системах Ge/Si и InAs/GaAs с учетом элементов самоорганизации при эпитаксии. Интерес к самоупорядоченным наноструктурам обусловлен созданием фотоприемников и источников излучения в диапазоне длин волн 1,3…1,5 мкм.