Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Дмитрий Крутогин

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Автор: Дмитрий Крутогин

Издательство: МИСиС

Жанр: Педагогика

Серия:

isbn:

isbn: 2015

Аннотация:

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».