Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев. Владимир Астахов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев

Автор: Владимир Астахов

Издательство: МИСиС

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn:

isbn: 2007

Аннотация:

В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.