Введение в современную микро- и наносистемную технику. А. В. Гридчин

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Введение в современную микро- и наносистемную технику

Автор: А. В. Гридчин

Издательство: Инфра-Инженерия

Жанр:

Серия:

isbn: 978-5-9729-1613-9

isbn: 2024

Аннотация:

Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.

СКАЧАТЬ Читать онлайн