Проведение научных экспериментов в наноинженерии. В. А. Шахнов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Проведение научных экспериментов в наноинженерии

Автор: В. А. Шахнов

Издательство: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)

Жанр:

Серия:

isbn: 978-5-7038-4141-9

isbn: 2015

Аннотация:

Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).