Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе. Николай Татаренко

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе

Автор: Николай Татаренко

Издательство: "Физматлит"

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn: 5-9221-0695-3

isbn: 2006

Аннотация:

В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.