Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии. Валерий Михайлов

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии

Автор: Валерий Михайлов

Издательство:

Жанр: Техническая литература

Серия:

isbn: 978-5-7038-3494-7

isbn: 2011

Аннотация:

Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов, плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.