Базовые технологии микро- и наноэлектроники. В. М. Воротынцев

Скачать книгу в различных форматах или читать онлайн на сайте.

Название: Базовые технологии микро- и наноэлектроники

Автор: В. М. Воротынцев

Издательство: Издательство Проспект

Жанр:

Серия:

isbn: 9785392257942

isbn: 2017

Аннотация:

Учебное пособие разработано в соответствии с государственным образовательным стандартом высшего профессионального образования по направлению подготовки дипломированных специалистов 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника». Впервые технологии микро- и наноэлектроники рассмотрены неразрывно с технологиями высокочистых веществ и материалов в основополагающем ключе «высокая чистота материала – высокое качество продукции». Рассмотрены основные процессы получения высокочистых веществ и материалов на их основе, процессы и технологии получения эпитаксиальных структур кремния, арсенида галлия и др., технологии их обработки при переходе к компонентам электронной техники. Пособие может быть использовано студентами всех форм обучения, в том числе и по смежным специальностям, как для самостоятельной работы, так и выполнения курсовых проектов, а также в качестве конспекта лекций по курсу «Технология материалов электронной техники». Содержит перечень контрольных вопросов для оценки усвоения студентами материала.

СКАЧАТЬ Читать онлайн